KOHZU神津精机
产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。
分类 详细参数 产品系列 MVZA 真空兼容 Z 升降平台 导轨 精密十字滚柱导轨 传动结构 楔块放大机构 + 滚珠丝杆，丝杆导距 1.0mm 细分分辨率 0.025~0.05μm（1/20 细分） 重复定位精度 全系列≤±0.5μm 空程误差 ≤0.5~1.0μm 垂直度指标 5~10μm 对应各行程段 主体材质 铝合金 驱动电机 真空专用 5 相步进电机，额定 1.4A / 相，步距角 0.72° 真空连接器 Accu-Glass 9 针真空密封 D-sub 9D-HVCP 润滑配置 出厂低出气真空专用润滑脂，可直接用于高真空腔体 配套资料 2D DXF、3D STEP、3D PARASOLID、视图文件 型号 台面尺寸 移动范围 水平承载 自重 楔块传动比 MVZA07A-X103 70×70mm ±10mm 49N(5kgf) 紧凑型 标准楔块 MVZA07A-W2C02 70×70mm ±2.5mm 49N(5kgf) 1.3kg 1/4 楔块放大 MVZA10A-W202 100×100mm ±7mm 98N(10kgf) 3.25kg 1/2 楔块放大 MVZA16A-W2C01 160×160mm ±8mm 196N(20kgf) 7.1kg 1/4 楔块放大
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