KOHZU神津精机
产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。
分类 详细参数 产品型号 RSTA-005 产品名称 RST Aligner 超高精度三轴对准平台 轴系结构 XY 直线轴 + θ 旋转轴，正三角形均衡驱动布局 核心精度性能 追随性 0.1μm±20nm；无需外部光栅反馈实现亚微米步进定位 测量标定设备 Renishaw XL-80 激光干涉仪，测试环境 23℃、湿度 40% 台面外径 Φ400mm 中心通孔 Φ230mm 大口径中空通孔，无轴承遮挡通孔结构 *大负载 60kg 主体材质 铝合金 表面处理 透明哑光阳极氧化 驱动电机 标准：PK523HPMB-H50S 五相步进电机；可选三菱 HG-KR053 伺服电机 电气配套 专用驱动单元，配套控制器运算公式免费提供 轴位 细分分辨率 有效行程 X/Y 直线轴 X：20nm；Y：11.55nm XY：±3mm θ 旋转轴 0.01366 秒 / 脉冲（0.1arcsec / 刻度） θ：±6.2° *小步进测试 XY：0.1μm 单步；θ：0.1 角秒单步 单圈 10/11 点分段测试
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