KOHZU神津精机
产品广泛应用于精密制造与科研领域，主要涵盖半导体晶圆光刻、封装对位、真空镀膜与精密检测；光通信光纤耦合、激光微加工、光学镜头组装、显示面板贴合；同时适配车载传感标定、精密电子元器件装配，以及医疗显微设备、新材料检测、同步辐射科研实验，是高精度微定位、自动对准领域的主流日系精密品牌。
分类 详细参数 产品系列 蒙布朗 电动 Z 升降定位平台 导轨形式 精密十字滚柱无背隙导轨 传动结构 1/2 楔块 + 接地滚珠丝杆，导距 0.5mm 整步 / 半步分辨率 0.5μm / 0.25μm 1/20 细分微步分辨率 0.025μm *高运行速度 2.5mm/sec 重复定位精度 ≤±0.3μm ~ ±0.5μm（依型号区分） 空程误差 ≤1μm ~ ≤2μm 垂直度 ≤4~5μm 对应行程段 主体材质 铝合金 表面处理 白色硬质阳极氧化 驱动电机 5 相步进电机，东方电机原厂配套，轴径 φ4/φ5mm，步距角 0.36°/0.72° 传感器 F 系列限位光电基板，支持极限限位信号 电气接口 圆形 20 针广濑 RP13A-12JG-20PC 连接器 大修服务费 42000~48000 日元，不含零部件更换费用 润滑选配 标准润滑、洁净润滑、真空润滑（可付费更换润滑脂） 配套配件 电机线缆、2D/3D CAD 图纸、专用步进驱动器、控制器 型号 台面尺寸 移动行程 水平承载 自重 ZA04A-W101 40×40mm ±2.5mm 24.5N(2.5kgf) 0.23kg ZA05A-W101 50×50mm ±4mm 39.2N(4kgf) 0.42kg ZA05A-W2C01 50×50mm ±1.5mm 39.2N(4kgf) 紧凑型轻量化 ZA05A-X102 50×50mm ±7.5mm 24.5N(2.5kgf) 0.65kg ZA07A-V1F01 70×70mm ±10mm 117.6N(12kgf) 重载款 ZA07A-V201 70×70mm CW:4mm，CCW:10mm 49N(5kgf) 双段行程 ZA07A-W2C02 70×70mm ±2.5mm 49N(5kgf) 小型短行程 ZA07A-X103 / ZA07F-X103 70×70mm ±10mm 49N(5kgf) 标准长行程 ZA10A-W202 100×100mm ±7mm 98N(10kgf) 大台面重载
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