EBARA 荏原产品特点
荏原依托百年流体力学、真空与热工学核心技术，旗下设备具备小型轻量化、低能耗、耐腐蚀、无油洁净、运行稳定的核心优势。产品采用模块化集成设计，适配 50/60Hz 双频段，标配耐腐材质，可耐受高低温、强腐蚀工艺环境；真空泵、水泵等机型损耗低、运维周期长，能单台覆盖多类工况，大幅缩减备件与维保成本，全系符合 SEMI、CE 行业规范，适配半导体无尘严苛生产标准。
应用行业：
半导体领域适配蚀刻、CVD、离子注入、晶圆抛光等核心制程；
工业端服务化工、能源、光伏产线；
市政基建用于供水、海水淡化、污水处理；
商用楼宇配套大型制冷机组、冷却塔。同时广泛配套精密制造、环保工程、医药生产等场景，兼顾国内重大基建项目与全球海外产线，可为流体输送、真空工艺、温控环保全场景提供成套设备解决方案。
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