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桥式触发式三坐标测量机

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产品名称: 桥式触发式三坐标测量机
产品型号: AXCEL PH 15/15
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ACCRETECH东京精密
产品文档: 无相关文档

桥式触发式三坐标测量机  的详细介绍


ACCRETECH 东京精密产品特点：

一、整体共性

双业务布局：精密测量仪器 + 半导体工艺设备，自研整机、光栅、软件，配套耗材兼容性稳定

宽温适配，防尘密封，车间长期量产精度衰减小，多工况 / 洁净产线可定制

模块化测头选配，支持触发、扫描、光学测量，自动化配件齐全

机型梯度完整，空间紧凑低能耗，覆盖小件量产到实验室基准级检测

适配半导体、3C、模具、汽车、医疗、航空多行业，配套本地化维保

二、三坐标细分精简特点

mju NEX：小型紧凑型，节能省占地，适合微型小件批量检测

AXCEL PH：经济型触发机型，两种导轨防护可选，主打点位尺寸检测

AXCEL RDS：全能扫描机型，支持曲面 / 非接触测量，复杂工件高精度检测

ZEISS XENOS：代理超高精度机型，大行程，计量实验室基准校准专用

核心应用行业：

半导体晶圆、芯片封测

3C、精密模具、光学元件检测

汽车、航空航天精密零部件质控

医疗器械、轴承计量、自动化在线检测



大类 项目 参数详情
基础标识 产品全称 XYZAX AXCEL PH 桥式触发式三坐标测量机
型号覆盖 全系列型号 7/5、7/7、9/6、9/10、9/15、10/6、10/12、10/15、10/18、12/8、15/8、15/15
测量行程 (mm) X 轴 650~1500
Y 轴 400~1500
Z 轴 480~900
检测核心配置 测长元件 线性光栅尺
*小显示单位 0.01 μm
标配测座测头 PH10T PLUS 自动旋转测座 + TP200 触发测头
机身可选结构 X 轴导轨无外罩款；X 轴导轨带外罩 + 下盖板款
测量精度（PH10T PLUS+TP200） 长度误差 E0,MPE（温区 A） 1.8+3L/1000 μm
长度误差 E0,MPE（温区 C） 2.3+4L/1000 μm
长度误差 E0,MPE（温区 E²） 2.3+5L/1000 μm
重复精度 R0,MPL 1.5 μm（小行程）/1.8 μm（大行程）
形状测量误差 PTU,MPE 2.0 μm（小行程）/2.4 μm（大行程）
导轨系统 导轨材质 花岗岩
驱动方式 空气轴承
工作台参数 工作台可用宽度 X 950~1270 mm
工作台可用深度 Y 1400~2500 mm
离地高度 600 mm
平面度标准 JIS 1 级
工件安装螺孔 M10 螺纹孔
被测件*大高度 670~1000 mm
工作台*大承载 600~1500 kg
运动性能 *大加速度 2300 mm/sec²
CNC 自动模式速度 0.01~700 mm/sec（无级调速）
手动操纵杆速度 0~120 mm/sec
自动测量扫描速度 0~5 mm/sec
精度保障环境 温区 A 标准温度 18~22 ℃
温区 C 标准温度 16~26 ℃
温区 E² 标准温度 15~30 ℃
每小时温度变化 A 1.0 ℃/h
每日温度变化 A 2.0 ℃/day
每小时温度变化 C 2.0 ℃/h
每日温度变化 C 5.0 ℃/day
每小时温度变化 E² 5.0 ℃/h
每日温度变化 E² 10.0 ℃/day
全域温度梯度 A/C/E² 1.0 ℃/m
气源参数 供气 / 使用压力 0.49~0.69 / 0.39 MPa
空气消耗量 55~85 NL/min
电气电源 电压 AC 220±10%（接地）
整机功率 1210~1930 W
外形尺寸 (mm) 本体宽度 1210~2050
本体深度 1450~2550
本体高度 2339~4600
整机重量 1610~4600 kg
Z 轴*大抬升高度 1940~2080 mm
核心优势 结构形式 桥式（ブリッジ），两种机身防护可选
测量模式 单点触发式点位测量
适用场景 车间常规批量检测、精密模具、汽车零部件、3C 结构件尺寸测量




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