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桥式三坐标测量机

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产品名称: 桥式三坐标测量机
产品型号: AXCEL RDS 15/15
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ACCRETECH东京精密
产品文档: 无相关文档

桥式三坐标测量机  的详细介绍


ACCRETECH 东京精密产品特点：

一、整体共性

双业务布局：精密测量仪器 + 半导体工艺设备，自研整机、光栅、软件，配套耗材兼容性稳定

宽温适配，防尘密封，车间长期量产精度衰减小，多工况 / 洁净产线可定制

模块化测头选配，支持触发、扫描、光学测量，自动化配件齐全

机型梯度完整，空间紧凑低能耗，覆盖小件量产到实验室基准级检测

适配半导体、3C、模具、汽车、医疗、航空多行业，配套本地化维保

二、三坐标细分精简特点

mju NEX：小型紧凑型，节能省占地，适合微型小件批量检测

AXCEL PH：经济型触发机型，两种导轨防护可选，主打点位尺寸检测

AXCEL RDS：全能扫描机型，支持曲面 / 非接触测量，复杂工件高精度检测

ZEISS XENOS：代理超高精度机型，大行程，计量实验室基准校准专用

核心应用行业：

半导体晶圆、芯片封测

3C、精密模具、光学元件检测

汽车、航空航天精密零部件质控

医疗器械、轴承计量、自动化在线检测



大类 项目 参数详情
基础标识 产品全称 XYZAX AXCEL RDS 桥式三坐标测量机
型号系列 覆盖型号 7/5、7/7、9/6、9/10、9/15、10/6、10/12、10/15、10/18、10/12/8、10/15/8
测量行程（mm） X 轴范围 650~1500
Y 轴范围 400~1500
Z 轴范围 490~900
检测核心配置 测长元件 线性光栅尺
*小显示单位 0.01 μm
标配测座 RDS-C5 自动旋转测座，5° 间隔 ±180° 回转，5184 个测量方位
标配测头 VAST XXT TL3 被动扫描测头
可选测头 VAST XXT TL4 加长扫描测头、XDT 触发测头、VISCAN 光学测头、LineScan2 线激光测头
测量精度（RDS-C5+VAST XXT） 长度测量误差 E0,MPE（温区 A） 1.8+3L/1000 μm
长度测量误差 E0,MPE（温区 C） 2.3+4L/1000 μm
长度测量误差 E0,MPE（温区 E） 2.3+5L/1000 μm
重复精度 R0,MPL 1.3 μm
形状测量误差 PTU,MPE 1.8 μm
扫描探测误差 MPETHP（t=75s） 2.9 μm
导轨系统 导轨材质 花岗岩
导轨驱动方式 空气轴承
工作台参数 工作台可用宽度 X 950~1270 mm
工作台可用深度 Y 1400~2500 mm
离地面高度 600 mm
平面度标准 JIS 1 级
工件安装螺孔 M10 螺纹孔
被测物*大高度 670~1000 mm
*大承载重量 600~1500 kg
运动驱动性能 *大加速度 2300 mm/sec²
CNC 自动模式速度可调区间 0.01~700 mm/sec（无级变速）
操纵杆手动模式速度区间 0~120 mm/sec（无级变速）
自动测量测量速度 0~5 mm/sec
精度保障环境 环境温度条件 A 18~22 ℃
环境温度条件 C 16~26 ℃
环境温度条件 E 15~30 ℃
每小时温度变化 A 1.0 ℃/h
每日温度变化 A 2.0 ℃/day
每小时温度变化 C 2.0 ℃/h
每日温度变化 C 5.0 ℃/day
每小时温度变化 E 5.0 ℃/h
每日温度变化 E 10.0 ℃/day
温度梯度 A/C/E 1.0 ℃/m
气源需求 供气 / 使用压力 0.49~0.69 / 0.39 MPa
空气消耗量 55~85 NL/min
电气电源 电压规格 AC 220±10%（接地）
整机功率 1210~1930 W
外形尺寸（mm） 本体宽度 1210~2050
本体深度 1450~2550
本体高度 2239~4600
本体重量 1610~4600 kg
Z 轴*大提升高度 1940~2080 mm
模块化选配组件 测针交换系统 MSR 自动测针交换架、专用基座交换架、测头库位
辅助配件 TL3/TL4 测头吸盘、延长杆、测针组
产品核心特性 结构形式 桥式（ブリッジ）
测量模式 接触扫描、单点触发、光学非接触扫描
适用行业 精密模具、汽车零部件、3C 电子、光学元件、医疗器械、航空精密件




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