数字定点电动真空闸阀

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产品名称: 数字定点电动真空闸阀

产品型号: GAZ

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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数字定点电动真空闸阀 的详细介绍

GAZ 系列（MIYUKI 美幸辉）数字定点电动真空闸阀
日本原装伺服直驱电动真空闸阀，需搭配 MS-PC 开度定位控制器配套使用，全行程划分为 00~99 共 100 个档位实现定点控制，适配常压至 10⁻⁶Pa 高真空区间，通流能力出色，多用于大型真空腔体分段进气、梯度泄压与大流量管路流量调节场景。

产品特点

01. 具有优异排气特性的闸阀。

02. 适用于80A至150A的口径。

03. 采用**传感器实现原点记忆。

04. 安装方向全自由。

05. 开闭动作噪音极低。

06. 采用不锈钢研磨材料，气体排放性更佳。

应用行业

半导体 / 电子：大型工艺腔体分段进气、大口径真空管路固定档位流量调节，保障量产制程稳定。
真空镀膜：大型镀膜设备梯度式破真空作业，减缓气流冲击，保护腔体内部构件与膜层。
光伏 / 新能源：光伏电池、锂电大型真空炉、脱泡设备的大流量管路开度定点管控。
化工 / 气体行业：大型真空反应釜、高纯气体主干管路的分段送气与压力调节作业。
科研 / 实验室：大型高真空实验舱、检测装置的标准化开度调节与工况切换。

项目	参数说明
公称通径	80A～150A
使用压力范围	10⁵ Pa～10⁻⁶ Pa
泄漏量内部密封（阀体）	1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
泄漏量外部密封（轴）	1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
接触气体材质	SUS304 不锈钢
阀体密封	氟橡胶 O 型圈
轴密封	氟橡胶 O 型圈
耐受温度	阀体：150℃ 电机：40℃
断电时阀门动作	维持当前位置不变

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