数字定点电动真空蝶阀

Name: 数字定点电动真空蝶阀
Brand: MIYUKI美幸辉
SKU: BAZ

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产品名称: 数字定点电动真空蝶阀

产品型号: BAZ

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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数字定点电动真空蝶阀 的详细介绍

BAZ 系列（MIYUKI 美幸辉）数字定点电动真空蝶阀
日本原装伺服直驱电动真空蝶阀，可搭配 MS-PC 开度定位控制器使用，将阀位划分为 00~99 共 100 个档位定点控制，适配常压至 10⁻⁵Pa 真空区间，多用于真空管路分段进气、阶梯式破空与腔体稳压等场景。

产品特点

采用伺服电机直驱结构，无减速齿轮间隙，阀位重复定位稳定，小开度状态下气流输出线性均匀。
内置原点传感器并搭配存储功能，设备断电重启后可自动回归原点，无需人工重新校准开度。
配备电磁制动组件，断电后可锁止当前阀位，有效防止腔体压力突变，保护设备与加工工件。
阀体与蝶板采用 SUS304 不锈钢，搭配氟橡胶密封件，耐温范围适配 - 20℃~150℃，可兼容多种干燥工艺气体。
密封表现良好，阀体内泄漏量不高于 1×10⁻⁹ Pa・m³/s，阀杆外泄漏量不高于 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足中高真空工况要求。
内部无外露金属摩擦部件，产尘量少，且启闭运行噪音低，适配各类洁净生产环境。
安装方式灵活，立式、卧式、侧向均可装配，不受管路姿态限制，适配多样设备布局。
口径覆盖 25A~100A，支持 KF、CF 等多种主流法兰类型，拆装便捷，管路适配性强。
与同品牌 MS-PC 控制器匹配度高，可实现本地档位设定与远程 I/O 控制，融入自动化系统难度低。

应用行业

半导体 / 电子：工艺腔体分段进气、真空管路固定档位流量调节，保障生产制程稳定。
真空镀膜：镀膜设备阶梯式破真空作业，缓解气流冲击，保护膜层与腔体内部构件。
光伏 / 新能源：光伏电池、锂电生产真空炉、脱泡设备的管路开度定点管控。
化工 / 气体行业：高纯气体输送管路、真空反应釜的分段送气与压力调节。

科研 / 实验室：各类真空实验装置、检测设备的标准化开度调节与工况切换。

项目	参数说明
口径	25A～100A
使用压力范围	10⁵ Pa～10⁻⁵ Pa
泄漏量内部密封（阀体）	1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下
泄漏量外部密封（轴）	1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
接触气体材质	SUS304 不锈钢
阀体密封	氟橡胶 O 型圈
轴密封	氟橡胶 O 型圈
耐受温度	阀体：150℃ 电机：40℃
断电时阀门动作	保持当前开度位置

※BAZ还生产无阀体密封功能的泄漏型阀门，规格涵盖25A至150A。

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