首页 >>> 产品目录 >>> 电气材料·制御机器 >>> 制御机器

电磁驱动阀

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 电磁驱动阀
产品型号: PER-N25/PER-N40
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: MIYUKI美幸辉
产品文档: 无相关文档

电磁驱动阀  的详细介绍
PER 系列（MIYUKI 美幸辉）波纹管密封气动真空角阀
日本原装 90°L 型气动真空角阀，采用金属波纹管轴封结构，适配常压至 10⁻⁷Pa 高真空工况，气密性优异，可满足长期连续运行需求，适用于直角管路布局的真空系统通断、气流切换与腔体隔离作业。


产品特点

01. 内置自动泄压阀功能。  
02. 仅需与油旋片泵电源同步联动，无需额外使用压缩空气。  
03. 泵停机时自动将泵腔恢复至大气压，同时可靠维持抽气侧真空状态。
04. 通过内部泄压机构，防止空气进入排气侧。

应用行业

半导体 / 电子：晶圆刻蚀、薄膜沉积设备直角管路通断、腔体隔离与工况切换。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备高真空支路气流管控、腔体防护。
光伏 / 新能源：光伏电池、锂电生产高真空系统转向管路的通断与隔离。
化工 / 气体行业：高纯气体输送管路、真空反应釜直角管路的介质截断与压力管控。
科研 / 实验室：高真空实验舱、精密检测仪器转向管路的通断与气流调节。

项目 参数 说明
品名 电磁驱动阀门
型号 PER-N25 PER-N40
驱动电压 可选 AC100V、AC200V、DC24V 可选 AC100V、AC200V、DC24V
连接法兰 NW(KF) NW(KF)
口径 25A 40A
动作方式 开启：真空 / 大气压压差驱动
关闭：弹簧复位 		开启：真空 / 大气压压差驱动
关闭：弹簧复位
全开流导 13 L/s 51 L/s
泄漏量 1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下 1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
使用范围 10⁵～10⁻¹ Pa 10⁵～10⁻¹ Pa
接触气体材质 SUS304 不锈钢、铝合金 SUS304 不锈钢、铝合金
阀芯密封 氟橡胶 O 型圈 氟橡胶 O 型圈
轴封 氟橡胶 O 型圈 氟橡胶 O 型圈
*大消耗功率 AC100V、AC200V：6W / DC24V：11W AC100V、AC200V：6W / DC24V：11W
重量 1.3 Kg 1.8 Kg

※ 连接法兰除NW外，也可根据需求定制。
※本规格可能在未事先通知的情况下因改进而变更。

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!