气动L 型阀门

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产品名称: 气动L 型阀门

产品型号: AEH

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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气动L 型阀门 的详细介绍

AEH 系列（MIYUKI 美幸辉）三段限位气动真空角阀
日本原装 90°L 型气动真空角阀，采用 O 型圈密封结构，支持全关、中段节流、全开三档定位，适配常压至 10⁻⁵Pa 真空区间，主打慢速破空与管路通断功能，适合直角布局的真空管路、腔体泄压及旁路微调场景 [6]。

产品特点

采用 90°L 型阀体结构，可多角度安装，适配设备内部直角转向管路，节省安装空间。
气缸配备可调限位结构，可实现全关、中间节流、全开三档定位，能够完成腔体缓慢泄压，降低气压冲击影响。
整体采用 FKM 氟橡胶 O 型圈密封，结构简单，后期维护便捷，仅密封圈为主要易损部件。
阀体选用 SUS304 不锈钢材质，内腔经过抛光处理，放气量低，适配常规洁净工艺环境。
整机泄漏量控制在 1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以内，密封表现稳定，满足中真空工况使用要求。
采用双作用气动驱动，适配 0.4–0.6 MPa 常规干燥压缩空气，运行动作平稳，启闭使用寿命较长。
通导规格丰富，不同口径对应不同流通速率，可依据管路流量需求灵活选型。
标配 KF/NW 快拆法兰，拆装无需额外打孔，管路对接与设备替换操作便捷。
可选配磁性行程开关与电磁阀，可输出阀位信号，方便接入自动化控制系统。
耐水汽与微量油品侵蚀，可搭配干式泵、旋片泵等真空设备配套使用。

应用行业

半导体 / 电子：小型工艺腔体直角管路通断、设备支路真空微调与泄压作业。
真空镀膜：小型镀膜机腔体慢速破空、管路工况切换，减少粉尘溅射问题。
光伏 / 新能源：光伏电池制备设备真空管路隔离、旁路流量调节。
化工 / 气体行业：小型真空反应釜、高纯气体支路管路的通断与压力平衡。

科研 / 实验室：各类小型真空实验装置、检测仪器的管路泄压与气流控制。

项目	参数说明
品名	气动 L 型阀门
驱动方式	气动驱动
型号	AEH
法兰规格	NW16～NW50
气缸功能	具备全关、中间位、全开定位停止功能
全开流导（L/s） 16A 25A 40A 50A	4 14 51 73
泄漏量（Pa・m³/s）	1×10⁻⁸ 以下
使用压力范围（Pa）	10⁵ ～ 10⁻⁵
所需气源压力 (MPaG)	0.4 ～ 0.6
使用寿命	5×10⁵次
阀体材质	SUS304 不锈钢
阀座密封垫	氟橡胶 O 型圈
轴封	氟橡胶 O 型圈
耐热使用温度	阀体 150℃以下

※电磁阀选型请参考电磁阀的气源连接示例。

※除本表外，其他特殊规格产品（如标准法兰、口径、耐压用等）也可进行制作。
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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