手操辅助式气动真空闸阀

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产品名称: 手操辅助式气动真空闸阀
产品型号: GR
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: MIYUKI美幸辉
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手操辅助式气动真空闸阀  的详细介绍
GR 系列(MIYUKI 美幸辉)手操辅助式气动真空闸阀

日本原装气动真空闸阀,搭配便捷手动操作手柄,适配常压至 10⁻⁶Pa 高真空工况,兼顾自动化气动驱动与现场手动操控,主要用于真空管路通断、腔体隔离,可对接各类自动化真空系统。


产品特点

01. 从全开到全闭,操作手感轻盈顺滑。  
02. 阀体密封机构采用等间距球压方式,具备优异的逆压可靠性。  
03. 不锈钢外壳通过真空低温焊接工艺制造研磨板材,内部无死腔,有效减少气体泄漏。  
04. 在洁净室中完成组装与检测。

应用行业

半导体 / 电子:晶圆刻蚀、薄膜沉积设备的真空管路通断、腔体隔离与工况切换。
真空镀膜:光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备真空系统管路截断与排气管控。
光伏 / 新能源:光伏电池、锂电生产设备真空管路的通断与隔离作业。
化工 / 气体行业:高纯气体输送管路、真空反应釜的介质截断与压力隔离。

科研 / 实验室:大型高真空实验舱、检测设备等真空系统的管路控制与维护操作。


项目 参数说明
法兰形式 JIS、ISO、CF、KF(NW)
公称直径 40A~400A(mm)
泄漏量(阀体腔体) 1×10⁻¹¹Pa・m³/s 以下
泄漏量(阀瓣) 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 以下
使用范围 10⁵~10⁻⁶Pa
接触气体材质 SUS304
轴密封 氟橡胶 O 型圈
驱动方式 手动(旋转手轮式)
开关显示 配备微动开关(分别用于检测开、关位置)
※可定制特殊规格产品。
※根据口径不同,安装位置可能有所限制,详情请咨询。
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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