气动真空闸阀

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产品名称: 气动真空闸阀

产品型号: GH

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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气动真空闸阀 的详细介绍

GH 系列（MIYUKI 美幸辉）可调开度气动真空闸阀

日本原装气动真空闸阀，采用副气缸结构支持开度自定义调节，适配常压至 10⁻⁶Pa 高真空工况，兼具管路通断与流量调控功能，可接入自动化真空系统，广泛用于各类真空工艺管路中。

产品特点
01. 一台阀门即可实现主排气和流量调节，配备可任意设定阀瓣开度的次级气缸。
02. 空气缸虽体积小巧，但能实现关闭时推力倍增（确保密封性）以及行程末端的空气缓冲效果（减缓冲击）。
03. 阀体密封机构采用等间距球压式设计，具备优异的逆压可靠性。
04. 不锈钢外壳通过真空低压焊接工艺制造研磨板材，内部无死腔，有效减少气体泄漏。
05. 在洁净室环境下完成组装与检测。

应用行业

半导体 / 电子：晶圆刻蚀、薄膜沉积设备真空管路通断、排气流量调节与腔体隔离。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备腔体真空度管控、工况切换与流量微调。
光伏 / 新能源：光伏电池、锂电生产设备真空系统的管路压力与排气管控。

化工 / 气体行业：高纯气体输送管路、真空反应釜的介质通断、流量调节与隔离防护。

科研 / 实验室：大型高真空实验舱、氦检设备等真空系统的管路综合控制。

项目	参数说明
法兰形式	JIS、ISO、CF
公称直径	70A～500A（mm）
泄漏量（阀体腔体）	1×10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下
泄漏量（阀座）	1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
使用领域	10⁵～10⁻⁶ Pa
接触气体材质	SUS304
轴密封	氟橡胶 O 型圈
驱动方式	气动驱动
工作气压	0.4～0.6 MPaG
开闭显示	附带微动开关（分别用于检测开启/关闭位置）

※也可制作特殊规格产品。※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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