G 系列(MIYUKI 美幸辉)紧凑型气动真空闸阀
日本原装气动真空闸阀,整体外形小巧,适配常压至 10⁻⁶Pa 高真空工况,抗反压密封表现良好,主要用于真空管路通断、腔体隔离,可接入自动化真空控制系统使用。
产品特点
01. 空气缸体积小巧,但在关闭时可实现推力倍增(确保密封),并在行程末端产生空气缓冲效果(减缓冲击)。 02. 阀体密封机构采用等间距球压方式,具有优异的逆压可靠性。 03. 不锈钢外壳通过真空低压焊接工艺制造研磨板材,内部无死腔,有效减少气体泄漏。 04. 在洁净室环境中完成组装与检测。
应用行业
半导体 / 电子:晶圆刻蚀、薄膜沉积设备的真空管路通断与腔体隔离防护。
真空镀膜:光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备真空管路工况切换与排气控制。
光伏 / 新能源:光伏电池、锂电生产真空系统的管路截断与压力管控。
化工 / 气体行业:高纯气体输送管路、真空反应釜的介质隔离与通断操作。
科研 / 实验室:大型真空实验舱、氦检设备等高真空系统的管路控制。
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