紧凑型气动真空闸阀

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产品名称: 紧凑型气动真空闸阀
产品型号: G
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: MIYUKI美幸辉
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紧凑型气动真空闸阀  的详细介绍

G 系列(MIYUKI 美幸辉)紧凑型气动真空闸阀

日本原装气动真空闸阀,整体外形小巧,适配常压至 10⁻⁶Pa 高真空工况,抗反压密封表现良好,主要用于真空管路通断、腔体隔离,可接入自动化真空控制系统使用。


产品特点

01. 空气缸体积小巧,但在关闭时可实现推力倍增(确保密封),并在行程末端产生空气缓冲效果(减缓冲击)。  
02. 阀体密封机构采用等间距球压方式,具有优异的逆压可靠性。  
03. 不锈钢外壳通过真空低压焊接工艺制造研磨板材,内部无死腔,有效减少气体泄漏。  
04. 在洁净室环境中完成组装与检测。


应用行业

半导体 / 电子:晶圆刻蚀、薄膜沉积设备的真空管路通断与腔体隔离防护。

真空镀膜:光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备真空管路工况切换与排气控制。

光伏 / 新能源:光伏电池、锂电生产真空系统的管路截断与压力管控。

化工 / 气体行业:高纯气体输送管路、真空反应釜的介质隔离与通断操作。

科研 / 实验室:大型真空实验舱、氦检设备等高真空系统的管路控制。


项目 参数说明
法兰形式 JIS、ISO、CF、KF(NW)
口径 40A~500A
泄漏量(阀体腔体) 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下
泄漏量(阀座) 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
使用压力区间 10⁵~10⁻⁶ Pa
接触气体材质 SUS304
阀杆密封 氟橡胶 O 型圈
驱动方式 气动驱动
工作气压 0.4~0.6 MPaG
启闭检测 配备微动开关(分别检测开、关位置)
可制作特殊规格产品。
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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