气动真空闸阀

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 气动真空闸阀
产品型号: L
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: MIYUKI美幸辉
产品文档: 无相关文档

气动真空闸阀  的详细介绍
L 系列(MIYUKI 美幸辉)气动真空闸阀

日本原装气动式真空闸阀,主打通用化设计与轻量化结构,适配常压至 10⁻⁵Pa 真空区间,多用于真空管路通断隔离与排气作业,可搭配真空压力控制器组成成套控压系统。


产品特点
01. 除密封动作外,阀体与壳体无接触,可有效减少颗粒物的产生。  
02. 阀体密封机构采用等间距球压方式,具有优异的逆压密封性能。  
03. 不锈钢外壳通过真空低压焊接工艺制造研磨板材,消除了内表面的死腔,降低了气体泄漏。  
04. 通过将阀体材质改为铝合金,实现了轻量化设计。

应用行业

半导体 / 电子:晶圆加工、薄膜制备设备的真空管路通断与腔体隔离。
真空镀膜:光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备的真空管路排气与工况切换。
光伏 / 新能源:光伏电池、锂电生产设备中真空系统的管路管控。
化工 / 气体行业:高纯气体输送管路、真空反应釜的介质截断与隔离。

科研 / 实验室:各类中型真空实验系统、检测设备的管路通断控制。

项目 参数说明
法兰形式 JIS、ISO
口径 65A~250A
泄漏量(阀壳体) 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s 以下
泄漏量(阀瓣) 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下
泄漏量(轴杆部位) 1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
使用压力区间 10⁵~10⁻⁵ Pa
接触气体材质 SUS304、铝合金
轴杆密封 氟橡胶 O 型圈(直动式)
驱动方式 气动驱动
工作气压 0.4~0.6 MPaG
开阀允许压差 3000Pa 以下
开闭显示 配备磁性接近开关(分别检测开、关位置)
※可生产特殊规格产品。
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!