电机驱动真空蝶阀

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产品名称: 电机驱动真空蝶阀

产品型号: BJ4

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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电机驱动真空蝶阀 的详细介绍

BJ4 系列（MIYUKI 美幸辉）伺服电机驱动真空蝶阀

日本原装伺服驱动真空蝶阀，属于全封闭式导电阀门，适配常压至 10⁻⁵Pa 高真空工况，支持多模式开度与速度调节，可搭配压力控制器实现自动化管路流量与真空度管控，适用于各类大流量排气工艺场景。

产品特点
01.单台阀门即可实现完全关断与流导流量调节两种功能。
02.可在存在压差工况（真空腔侧 - 大气压侧）下直接开启阀门。
03.采用电机直驱结构搭配高精度齿轮减速箱，阀位重复定位精度优异。
04.可通过多种控制方式实现开度、启闭速度调节，支持多样化运行模式。
05.适配大流量抽气工况，整机耐用性强。
06.外置开度角度指示器，可直观查看阀芯实时位置。

应用行业

半导体 / 电子：晶圆刻蚀、薄膜沉积设备的真空管路自动化控流与排气作业。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备腔体真空度自动调节与管路通断。
光伏 / 新能源：光伏电池、锂电生产工艺流程中的大流量真空管路控制。
化工 / 高纯气体：特种气体输送、真空反应釜的自动化流量与压力调控。

科研 / 实验室：大型真空实验系统、检测设备的自动化真空管路管理。

项目	参数说明
口径	25A～250A
泄漏率	1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下
使用范围	10⁵～10⁻⁵ Pa
密封圈	氟橡胶 O 型圈
轴密封	氟橡胶 O 型圈
介质接触材质	SUS304 不锈钢
指示器	带角度外部显示的指示器
驱动方式	交流伺服电机（三菱电机公司制造，MR-J4 系列）
可选配件	开关检测光电传感器
备注 1	可定制各类特殊规格产品
备注 2	阀盘、阀杆密封标配氟橡胶，可根据使用工况更换其他密封材质
备注 3	不同规格阀门，*大调节速度存在固定限值
备注 4	伺服驱动器需客户自行匹配对应规格选购
备注 5	本规格参数若因产品优化升级调整，恕不另行通知

※可定制特殊规格产品
※磁盘密封圈和轴密封圈均以氟橡胶为标准，但可根据用途选择其他材质。
※阀门决定了设定速度的*大值。
※伺服驱动器需客户自行匹配对应规格选购
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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