精密手动真空蝶阀

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产品名称: 精密手动真空蝶阀

产品型号: BH

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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精密手动真空蝶阀 的详细介绍

BH 系列（MIYUKI 美幸辉）精密手动真空蝶阀

日本原装带刻度手动真空蝶阀，适配常压至 10⁻⁵Pa 高真空管路，依靠精密刻度手轮实现微小开度精细调节，可搭配真空压力控制器完成腔体真空度稳定管控。

产品特点：

01.阀门可在 0°～45°、90°（全开）两个开度档位工作，单台阀门即可实现慢抽排气与高速排气两种模式。
02.采用两段式气缸结构：除常规实现全关、全开的标准气缸外，额外配置可在 0°～45° 区间任意设定阀门开度的调节气缸。
03.气缸体积小巧，开启推力翻倍，动作稳定可靠；行程末端自带气缓冲结构，有效缓冲启闭冲击。
04.阀门完全关闭时，阀芯可实现严密密封。
05.无安装姿态、安装朝向限制。
06.阀体法兰面距极短，流导性能优异。
07.全部产品在洁净无尘车间完成装配与出厂检测。

应用行业：

半导体 / 电子：晶圆刻蚀、薄膜沉积设备真空管路微量排气流量调节。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备腔体真空度精细管控。
光伏 / 新能源：太阳能电池薄膜制程、锂电真空烧结管路压力微调。
化工 / 高纯气体：特种高纯气体输送、真空反应釜介质流量精准调控。
科研 / 实验室：小型精密真空腔体、检测设备的真空度手动微调系统。

项目	参数说明
法兰标准	JIS、ISO、KF(NW)、CF
口径	25A～350A
泄漏率	1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下
以下使用范围	10⁵～10⁻⁵ Pa
接气部件材质	SUS304
密封圈	石墨氟橡胶 O 型圈
轴密封	石墨氟橡胶 O 型圈
工作气压	0.4～0.6 MPaG
开关指示	配备微动开关（用于检测开启/关闭各位置）

※可按需定制各类特殊规格产品。

※本产品规格会因性能优化调整。

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