真空蝶阀

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产品名称: 真空蝶阀

产品型号: B

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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真空蝶阀 的详细介绍

B 系列（MIYUKI 美幸辉）真空蝶阀

日本原装真空蝶阀，分为手动、气动等驱动类型，适配常压至高真空工况，多用于真空管路通断与排气调节，可搭配压力控制器协同工作。

产品特点：

01.本气缸体积小巧，开启时推力翻倍，动作稳定可靠；行程末端自带气缓冲，可有效减缓冲击。

02.阀门全关状态下，阀芯可实现完全密封。

03.无安装位置和方向限制。

04.阀体面距极短，流导性能优异。

05.产品均在洁净车间内完成装配与检测。

应用行业：

半导体 / 电子：晶圆刻蚀、薄膜沉积设备的真空管路通断与排气管控。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备腔体的破真空与流量调节。
光伏 / 新能源：光伏电池薄膜制程、锂电生产设备真空管路控制。
化工 / 气体行业：高纯气体输送管路、真空反应釜的介质通断管理。
科研 / 实验室：各类真空实验系统、检测设备的管路开关与排气作业。

项目	参数说明
法兰标准	JIS、ISO、KF(NW)、CF
口径	25A～400A
泄漏率	1×10⁻⁹ Pa·m³/s以下
适用范围	10⁵ ～ 10⁻⁵ Pa
接气部件材质	SUS304
圆盘密封件	氟橡胶 O 型圈
轴密封件	氟橡胶 O 型圈
工作气压	0.4～0.6 MPaG
启闭状态反馈	内置微动开关，可分别检测全开、全关位置

※ 可生产特殊规格产品。
※本规格可能因改进而未经预告进行变更。

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