电动精密真空闸阀

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产品名称: 电动精密真空闸阀

产品型号: GAR

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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电动精密真空闸阀 的详细介绍

GAR 系列（MIYUKI 美幸辉）电动精密真空闸阀

日本原装电机直驱真空闸阀，适配半导体、镀膜、实验室等高真空工艺，可搭配压力控制器完成管路流量与腔体真空度闭环调节。

产品特点：

01、闸阀排气性能优异
02、支持 80A～400A 全系列宽通径规格
03、断电状态下亦可实现完全密封关断
04、阀门启闭与调节运行噪音极低
05、结构支持从全开至全关全程流量连续调控
06、阀体采用不锈钢抛光材质，出气率低

应用行业：

半导体 / 电子：刻蚀设备、薄膜沉积设备真空管路流量、腔体真空度调节。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 镀膜机排气流量精准管控。
光伏 / 新能源：太阳能电池薄膜制程、锂电烧结真空管路压力调控。
化工 / 高纯气体：特种气体输送管路、真空反应釜流量调节。
科研 / 实验室：大型真空腔体、氦检设备、精密实验系统管路控流。

项目	参数详情
口径	80A～400A
使用压力范围	10⁵ Pa ～ 10⁻⁶ Pa
内部密封（阀）	≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
外部密封（轴）	≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
介质接触材质	SUS304
阀密封	氟橡胶 O 型圈
轴密封	氟橡胶 O 型圈
耐受温度（阀体）	150℃
耐受温度（电机）	40℃
断电阀门动作※	阀位锁止停机（电磁抱闸锁定）

※GAR有安装方向限制，请咨询详情。※可定制断电防护专用机型。

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