真空控制蝶阀

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产品名称: 真空控制蝶阀

产品型号: BAR

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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真空控制蝶阀 的详细介绍

BAR 系列（MIYUKI 美幸辉）真空控制蝶阀

日本原装、半导体 / 镀膜 / 实验室用真空压力调节蝶阀，适配宽口径管路、高真空工况，具备低发尘、低噪音、电机直驱、高密封等特性，可搭配压力控制器完成闭环压力调节。

产品特点：
01. 结构简单，蝶阀设计。
02. 可适配25A至250A的多种口径。
03. 无金属滑动部件，实现低粉尘排放。
04. 开闭及控制动作噪音极低。
05. 在微小开度下仍可实现压力稳定性。
06. 直接驱动电机，无背压现象。

应用行业：
半导体 / 电子：刻蚀设备、薄膜沉积设备的真空管路流量与压力调节。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备腔体真空度管控。
光伏 / 新能源：太阳能电池薄膜制程、锂电生产真空管路调控。
化工 / 气体设备：高纯气体输送管路、真空反应釜流量控制。
科研 / 实验室：各类真空实验系统、氦检设备的管路阀门调节。

项目	参数说明
公称通径	25A～250A
使用压力范围	10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
内部密封（阀芯）泄漏率	≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
轴杆外部密封泄漏率	≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
介质接触材质	SUS304 不锈钢
阀座密封件	氟橡胶 O 型圈
轴杆密封件	氟橡胶 O 型圈
耐受温度 - 阀体	150℃
耐受温度 - 电机	40℃
断电时阀门动作	阀位静止，无自锁保持力

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