MS-VP（MIYUKI 美幸辉）阀门开度驱动控制器
日本原装、半导体 / 镀膜 / 实验室用「真空阀门定点开度驱动控制系统」，主打模拟信号线性定位、阀门全闭 / 流导调节、远程信号控制、开机自动归位。
特点：
■ 该系统是将控制器MS-VP与蝴蝶阀BAR系列或闸阀GAR系列组合而成的开度设定型压力控制系统。 ■ 可通过模拟信号线性调节并定位阀门的开度。 ■ 控制阀既可用于电导率可变，也可实现排气管线完全关闭。
应用行业： 半导体 / 电子：刻蚀腔体、薄膜沉积设备真空管路阀门开度调节。 光伏 / 新能源：太阳能电池薄膜制程、锂电烧结炉真空压力管路管控。 真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 镀膜机排气流量精准调控。 化工 / 气体设备：高纯气体管路、真空反应釜流量阀门定位控制。 科研 / 实验室：小型真空腔体、氦检设备、精密实验管路流量调节。
规格参数
项目 参数/说明 控制器型号： MS-VP 控制阀： GAR / BAR 状态显示： 4 路 LED 指示灯（电源 / 全关 / 远程 / 报警） I/O 输入： 远程接收、开度控制、全闭、全开、锁定手动、锁定解除 I/O 输出： 远程控制中、报警、全闭、全开、可锁定 模拟电压 输入： 开度设定：DC 0～10V／4～20mA※1 模拟电压 输出： 开度反馈：DC0～10V / 4～20mA ※1 异常检测功能： 报警信号输出 输入电源： 电压：DC24V；*大功耗：80W 尺寸（宽×深×高）： 110mm×245mm×141mm 整机重量 1.6kg 标准附件： 安装支架 线缆（单独售卖）： 电机电缆（3m、5m、10m） 锁止限位电缆（3m、5m、10m） ※仅 GAR 闸阀需要配套 ※1：DC0～10V 与 4～20mA 两种信号规格二选一订货，设备不自带模拟信号切换功能。
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