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紧凑型真空压力控制器

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产品名称: 紧凑型真空压力控制器
产品型号: MG-mini485
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: MIYUKI美幸辉
产品文档: 无相关文档

紧凑型真空压力控制器  的详细介绍

MG-mini485（MIYUKI 美幸辉）紧凑型真空压力控制器

日本原装、半导体 / 镀膜 / 实验室用「紧凑型真空压力闭环控制器」，主打 ±0.5% 级控制、双组 PID 存储、RS485 远程通信、断电保护。


特点：
■ 开机时自动返回归位模式。
■ 配备 RS-485 通讯，参数配置、设备操作全程通讯支持
■ 双组 PID 参数存储功能，可快速完成自动压力控制
■ 压力控制精度：设定压力值的 ±0.5%
■ 真空计标准信号为 DC 0～5V、DC 0～10V，可选配 4～20mA 信号规格
■ 通过设定单元地址，至多可实现 7 台设备多点总线并联

应用行业：

半导体 / 电子：刻蚀、薄膜沉积、真空腔体压力调节。
光伏 / 新能源：太阳能电池薄膜制程、真空工艺压力管控。
真空镀膜：光学镀膜、金属膜层、PVD/CVD 配套压力控制。
化工 / 气体设备：高纯气体输送、工艺腔体压力稳定。
科研 / 实验室：小型真空系统、精密实验压力调控。


规格参数

 项目  参数/说明
 控制器型号：
  MG-mini485
 压力控制范围：
  1～10⁵ Pa
 控制阀：
  GAR / BAR
 操作方式：
  RS-485 通信（二线制）、I/O
 RS-485 功能：
  机型设置、真空计设置（量程，Pa / Torr）、开关操作、压力控制、PIDAT、PID 选择、PID 值修改、开度控制、*  大开度、确认命令、错误命令
 单元编号设定：
  1～7
 RS-485 接口参数：

 波特率：19200

 数据位：8

 起始位：1

 停止位：1

 校验位：偶校验

 流控：无
 校验和：无
 分隔符：16 进制 ASCII 码
 应答响应时间：200ms 以内
 I/O 输入输出：

 输入：阀门开、阀门关、复位、电机松抱闸

 输出：故障报警

 真空计（传感器）输入：
  DC 0～5V、DC 0～10V、4～20mA※
 断电时阀门动作：  
  GAR：在断电前位置停止（由电机电磁制动保持）  
 BAR：在断电前位置停止（标准电机不可保持）  
 供电电源：
  DC24V±5%，*大功耗 90W
 外形尺寸（宽 × 深 × 高）：
  110mm×260mm×145mm
 整机重量：
  1.6kg
 使用环境条件：
  温度 0～50℃（**室内安装），环境湿度 90% RH 以下
 标准附件：
  安装支架
 线缆另售：
  电机电缆（3米、5米、10米）
 电磁制动电缆（3米、5米、10米）※仅需GAR。  
※真空计（传感器）输入4～20mA为选配，购买时请注明。
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