自动压力控制器

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产品名称: 自动压力控制器

产品型号: MGCS-11

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: MIYUKI美幸辉

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自动压力控制器 的详细介绍

MGCS‑11（MIYUKI 美幸辉）高精度真空压力控制器

日本原装、半导体 / 镀膜 / 实验室用「超高精度真空压力闭环控制器」，主打 ±0.1% 级控制、自动 PID 整定、双传感器、远程通信、**断电保护。

特点：
开机时自动返回归位模式。
传感器（真空表）和7组存储功能（PB、PID）实现了宽范围压力控制。
操作支持触摸面板、I/O和RS-232C串行通信。
可连接不间断电源（UPS）。（停电时阀门关闭）
除了电流压力外，还提供简单的控制阀开启显示。
PIDAT通过7步AT参数快速优化。
控制精度为设定压力的±0.1%。
配备直流±15V和DC24V真空计电源。
半尺寸19英寸的货架，便于收纳。

应用行业：
半导体 / 电子：刻蚀、沉积、真空腔体压力控制。
光伏 / 新能源：太阳能电池、薄膜制程真空调节。
真空镀膜：光学膜、金属膜、PVD/CVD 设备。
化工 / 制药：高纯气体、无菌制程、反应釜压力控制。
科研 / 实验室：真空系统、精密实验压力稳定。

规格
控制器型号	MGCS-11
压力控制范围	0.1～10⁵ Pa
适配控制阀	BAR 系列 / GAR 系列
显示/操作	4 英寸单色液晶触摸屏
I/O 输入输出	输入：压力控制、阀门开、阀门关、开度控制、步进动作、断电信号位选择 (1/2/4)、2 路真空计切换输出：压力控制运行中、开度控制运行中、报警、阀门全开、阀门全关、断电检测、设备运行就绪、步进模式、位选择中 (1/2/4)、2 路真空计切换中
模拟量输入输出	输入：压力 / 开度设定信号输出：实时压力值、实时阀门开度值
真空计（传感器）输入	2 /DC 0～10V
串行通讯接口	RS-232C
断电应对方案	可连接 UPS 不间断电源（Dsub9 针接口）
输入电源 (50Hz/60Hz）	电压：单相 AC100V～230V（50Hz/60Hz）功耗：*大 180W
外形尺寸（宽 × 深 × 高）	241mm×344mm×143.5mm
整机重量	4kg
环境使用条件温度	0～55℃（室内安装）
环境使用条件湿度	85%以下
标准附属品	2 米长 100V 专用电源线
线缆（单独选购）	电机控制线（3m、5m、10m）锁止限位控制线（3m、5m、10m） ※仅搭配 GAR 系列阀门时需配备此线缆

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