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氧化锆式氧气浓度计

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 氧化锆式氧气浓度计
产品型号: RF-400-01 采样扩展款
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: TORAY东丽
产品文档: 无相关文档

氧化锆式氧气浓度计  的详细介绍

TORAY东丽-氧化锆式氧气浓度计-RF-400-01


一、产品总结

RF-400-01 是东丽专为氮气回流装置开发的专用氧浓度计，凭借专项优化的传感器、高耐久性保护机构、紧凑易用的设计与合规输出能力，成为电子行业及工业设备集成场景中可靠的氧浓度监测方案。

二、核心特点

  • 氮气回流装置专项优化：专为氮气回流工艺场景设计，适配高浓度惰性保护气环境，满足电子行业的工艺监测需求。
  • 高精度与高耐久性：搭载东丽自研小型氧化锆传感器，可长期稳定提供高精度测量结果；配备传感器保护机构，相比传统产品提升了耐用性。
  • 多功能输出与合规设计：支持模拟输出、串行通信输出，同时通过 CE 认证，满足工业设备集成的信号与合规要求。
  • 紧凑易用设计：结构紧凑、操作简便，便于集成到氮气回流装置及其他多种工业设备中。


    三、主要用途

  • 电子行业氮气回流装置：半导体、电子元件生产过程中氮气回流工艺的氧浓度监测与控制。
  • 工业设备集成：各类需要氧浓度监测的工业装置，尤其适配含惰性保护气的高浓度环境。
  • 工艺气体控制：化工、制造行业中保护气体、工艺气体的氧含量在线监测，保障产品质量与工艺安稳运行。



    • 分类 项目 规格参数
    设备规格 外形 台式 / 面板安装型
    显示方式 数字 4 位显示（浓度显示）
    测量范围 10ppm～100vol% O₂
    ※0～10ppm 量程以下不作性能保证
    测量量程 0-1/10/100/1000/10000ppm（1%）/10%/100%
    10⁻²⁰～10⁰atm
    ※可选择 0～10000ppm 或 0-1% 量程
    采样方式 内置泵连续吸引式
    供给气体流量 1000～2000mL/min
    传感器部气体流量 60±10mL/min
    气体接口 INLET（样气入口）Rc1/4
    BYPASS OUT（旁路出口）Rc1/4
    OUTLET（样气出口）Rc1/4
    对比气体 大气
    重量 约 6.5kg
    涂装颜色 孟塞尔 N3 哑光黑色
    性能特性 重复性 1%（10000ppm）≤测量气体≤100%：±1% FS
    10ppm≤测量气体＜1%（10000ppm）：±2% FS
    （0～10ppm 显示量程以下不作保证）
    空气点稳定性 ±1%FS/24h
    预热时间 6 分钟以内
    工程规格 测量值输出 外部输出：4-20mA、RS-232C
    浓度报警输出 LED 显示（上下限），2a 独立接点输出
    接点容量：AC30V/DC30V、1A
    自诊断功能 预热异常、热电偶异常、机内温度异常、CPU 异常、炉内温度异常、不对称电位异常、传感器电阻值异常、AIR 点校准异常、SPAN 点校准异常
    样气条件 气体成分 不含可燃成分、卤素、硅类、腐蚀性成分及水滴
    压力 29.4kPa 以下加压
    流量 1000～2000mL/min
    温度 0～50℃
    湿度 露点低于环境温度
    电源与安装 电源规格 AC100V～240V，电源容量 200VA，功耗 50W
    安装条件 安装场所：室内、非防爆区域
    环境温度：0～50℃
    环境湿度：20～85% RH（无结露）
    环境介质：不含可燃成分、卤素、硅类及腐蚀性成分
    可选配件 配件 活性炭过滤器、棉过滤器、Si 过滤器

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