氧化锆式氧气浓度计

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产品名称: 氧化锆式氧气浓度计
产品型号: LC-860 低浓度高精度款
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: TORAY东丽
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氧化锆式氧气浓度计  的详细介绍

TORAY东丽-氧化锆式多点氧气浓度计-LC-860


一、产品总结
LC-860 凭借高性能传感器、全量程检测能力、多功能工业接口与宽场景通用性,成为从实验室研究到工业在线集成的理想氧浓度检测方案,既能满足高精度科研需求,也能适配复杂工业环境的长期安稳运行,为各类场景提供可靠的氧浓度数据支持。

二、核心特点

  • 全量程高精度检测:可实现 10ppm 以下、10ppm 以上至 1000ppm(0.1%)及更高浓度的全量程测量,满足从微量氧到高浓度氧的多场景检测需求。
  • 高性能传感器技术:搭载东丽自研的氧化锆传感器,可长期提供稳定、高精度的测量结果,减少漂移与维护成本,适配长期在线监测场景。
  • 多功能工业适配性:标配模拟输出与串行通信输出,支持上位机系统集成;适配大气压 / 加压工况,可满足多种工业气体环境的测量需求。
  • 宽场景通用设计:既适用于实验室研究场景,也支持工业在线设备的嵌入式安装,是兼顾科研与工业生产的通用型解决方案。

    三、主要用途

  • 科研与实验室场景:气体分析研究、材料工艺氧浓度控制、环境监测实验等高精度氧浓度检测。
  • 工业在线集成:半导体、液晶设备工艺腔体氧浓度监控,保障薄膜沉积、刻蚀等工序的工艺稳定性。
  • 通用工业场景:惰性气体保护装置、气体纯化设备、气氛炉等场景的氧含量在线监测与闭环控制。

  • 分类 项目 规格参数
    设备规格 外形 台式 / 面板安装型
    显示方式 LED 数字 6 位显示(浓度显示)
    测量范围 0.1ppm~100vol% O₂
    ※1ppm 以下及 0-1ppm 量程以下不作性能保证
    测量量程 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
    ※0-1ppm 量程不作性能保证
    采样方式 连续吸入式
    供气量 1000~2000mL/min
    传感器气量 200±50mL/min
    气体接口 INLET(样气入口)Rc1/8
    BYPASS OUT(旁路出口)Rc1/8
    OUTLET(样气出口)Rc1/4
    对比气体 大气
    重量 约 10kg
    涂装颜色 哑光黑色
    外形尺寸 288W×144H×400D mm(不含凸起部位)
    性能特性 空气点稳定性 ±1%FS/24h
    气体响应性 30 秒以内(90% 响应,从入口切换样气开始计时)
    预热时间 20 分钟以内
    工程规格 设备异常输出 无电压接点输出,1 接点
    接点容量:DC24V・0.1A 以下
    浓度报警输出 无电压接点输出,2 接点(LED 显示上下限)
    接点容量:DC24V・0.1A 以下,支持 a 接 /b 接单独选择
    预热信号输出 无电压接点输出,1 接点
    接点容量:DC24V・0.1A 以下
    量程标记输出 无电压接点输出,3 接点
    接点容量:DC24V・0.1A 以下
    传输输出 RS-232C 兼容
    记录仪输出 0~10V(绝缘电阻≥500kΩ)
    4~20mA(绝缘电阻≤600Ω)
    自诊断功能 预热异常、CPU 异常、机内温度异常、RAM 异常、加热器异常、热电偶异常、浓度稳定异常、不对称电位异常、传感器电阻值异常、AIR 点校准异常、SPAN 点校准异常
    泵接点输入 无电压接点输入,1 接点
    接点容量:DC24V・0.01A 以下
    自动刷新功能 AIR 校准时若检测到传感器劣化,将自动对传感器进行通电处理
    样气条件 流量 1000~2000mL/min
    压力 29.4kPa 以下加压
    温度 0~50℃
    湿度 露点低于环境温度
    介质要求 不含可燃成分、卤素、硅类、腐蚀性成分及水滴
    电源与安装 预热时间 20 分钟以内
    电源规格 AC100V~120V,50/60Hz
    功耗 200VA
    安装条件 安装场所:室内、非防爆区域
    环境温度:0~40℃
    环境湿度:45~85% RH(无结露)
    环境介质:不含可燃成分、卤素、硅类及腐蚀性成分
    可选配件 过滤器 活性炭过滤器、棉过滤器、Si 过滤器

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