氧化锆式氧气浓度计

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产品名称: 氧化锆式氧气浓度计

产品型号: LC-450A 全配定制款

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: TORAY东丽

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氧化锆式氧气浓度计 的详细介绍

TORAY东丽-氧化锆式多点氧气浓度计-LC-450A

一、产品总结
LC-450A 凭借一体式全量程测量、高耐久性传感器、紧凑易用设计与丰富的工业接口，成为半导体、电子工业及通用工业场景的理想氧浓度检测方案，既能满足高精度工艺管控需求，又能适配多种设备的嵌入集成，为生产过程提供长期安稳、可靠的氧浓度数据支持。

二、核心特点

全量程高精度测量：单台设备即可覆盖 10ppm 以下、10ppm 以上至 1000ppm（0.1%）以上的宽量程氧浓度检测，满足低浓度到高浓度的多场景测量需求。
高耐久性传感器：搭载东丽自研超小型氧化锆传感器，传感器经特殊工艺处理，使用寿命超越传统型号，可长期安稳运行，减少维护成本。
紧凑易用设计：机身小巧、操作界面简洁，无需复杂调试即可上手，适配各类设备的嵌入式安装需求，节省现场空间。
丰富的输出与适配性：标配模拟输出与串行通信输出，可直接对接 PLC 或上位机系统；支持大气压 / 加压工况，适配多种工业气体环境。

三、主要用途

半导体 / 液晶制造：工艺腔体氧浓度监控，保障薄膜沉积、刻蚀等工序的工艺稳定性，避免产品氧化缺陷。
工业气体分析：惰性气体保护装置、气体纯化设备的氧含量检测，确保高纯气体的氧含量达标。
热处理与燃烧控制：气氛炉、燃烧设备的氧浓度监测，优化燃烧效率，实现气氛闭环控制。

分类	项目	规格参数
设备规格	外形	台式 / 面板安装型
	显示方式	4 位数字显示（浓度显示）
	测量范围	0.1ppm～100vol% O₂
	测量量程	显示：自动量程或 4 档量程配置记录仪：0-10/100/1000ppm/100%，可组合以下量程：1/10/100/1000/10000ppm、1/10/100%、10⁻²～10⁰atm※0～1ppm 量程、atm 量程为参考值（非保证范围）
	采样方式	内置泵连续吸入式
	供气量	1000～2000mL/min
	传感器气量	60±10mL/min
	气体接口	INLET（样气入口）Rc1/4BYPASS OUT（旁路出口）Rc1/4OUTLET（样气出口）Rc1/4
	对比气体	大气
	外形尺寸	210W×134H×300D mm（不含凸起部位）
	重量	约 6kg
	涂装颜色	哑光黑色
性能特性	重复性	±1% FS（0～10ppm 量程以上）※0～1ppm 量程以下性能不作保证
	空气点稳定性	±1% FS/24h 以内
	气体响应性	30 秒以内（90% 响应）
工程规格	记录仪输出	外部输出：4～20mA 或 0～20mA（0～10V 为可选配置）
	传输输出	RS-232C 兼容（单向）
	接点输出	设备异常（无电压接点）浓度报警：可从 HH、H、L、LL 中选择 2 点预热信号（无电压接点）接点容量：AC/DC 30V、0.5A 以下（电阻负载）
	量程标记输出	2 点输出（无电压接点）接点容量：AC/DC 30V、0.3A 以下（电阻负载）
	自诊断功能	传感器温度异常、校准异常、机内温度异常、CPU 异常、炉内温度异常、预热异常、不对称电位异常、传感器电阻值异常、AIR 点校准异常、SPAN 点校准异常
样气条件	气体成分	不含可燃成分、卤素、硅类、腐蚀性成分及水滴
	压力	29.4kPa 以下加压
	流量	1000～2000mL/min
	温度	0～50℃
	湿度	露点低于环境温度
电源与安装	预热时间	6 分钟以内
	电源规格	AC100V～240V
	功耗	50VA（稳态：35VA）
	安装条件	安装场所：室内、非防爆区域环境温度：0～40℃环境湿度：20～85% RH（无结露）环境介质：不含可燃成分、卤素、硅类及腐蚀性成分
可选配件	过滤器	活性炭过滤器、棉过滤器、Si 过滤器

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