氧化锆式多点氧气浓度计

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产品名称: 氧化锆式多点氧气浓度计

产品型号: MS-500/MS-510/SD

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: TORAY东丽

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氧化锆式多点氧气浓度计 的详细介绍

TORAY东丽-氧化锆式多点氧气浓度计-MS-500/MS-510/SD

一、产品总结
东丽 MS-500/MS-510/SD 系列凭借宽量程测量、高耐久性、多点扩展能力与便捷集成特性，成为半导体、真空设备等行业的理想氧浓度监测方案，能为各类工业处理装置提供长期安稳、高精度的氧含量数据支持，保障生产工艺的稳定性与产品质量。
二、核心特点
宽量程高精度测量：覆盖 10ppm 以下、10ppm 以上至 1000ppm（0.1%）以上的多量程氧浓度检测，精度稳定，适配低浓度到常规浓度的不同需求。
高耐久性设计：传感器采用特殊涂层与内置保护机制，抗污染、抗轻微腐蚀，使用寿命优于传统型号，可长期安稳运行。
分体式扩展架构：传感器与转换器分离设计，可扩展至*多 8 个检测点位，实现多点位同步测量，适配多腔体设备场景。
便捷集成与操作：标配串行通信输出，适配 PLC 与上位机系统；操作界面简单，便于嵌入各类工业处理装置。
三、主要用途
半导体制造：多腔真空镀膜、溅射、刻蚀设备的多点氧浓度监控，保障工艺稳定性。
真空设备领域：各类真空炉、热处理设备的氧含量监测，防止氧化反应影响产品质量。
电子工业场景：惰性气氛保护设备、气体纯化装置的氧浓度检测，满足电子元件生产的环境要求。

大类	项目	规格参数
共通整体规格	产品型式	控制器：MS-500；转换器：MS-510；传感器：SD16NW／SD25NW／SD40NW
	测量点数	*大 8 点（每测量点需单独配套 1 套检测单元）
	测量方式	氧化锆氧浓度电池式
	测量范围	0.001ppm～100%
	安装场所	室内、非防爆区域
	环境温度	控制器 / 转换器：0～40℃；传感器单元：0～50℃
	环境湿度	35～80% RH（无结露）
	安装部位温度	控制器 / 转换器：0～40℃；传感器单元：0～100℃
	使用环境要求	不含可燃成分、卤素、硅类及腐蚀性成分
控制器 MS-500	外形尺寸	92W×44H×120D(mm)
	重量	约 0.6kg
	安装方式	M3 螺丝面板安装
	工作电源	DC24V、0.3A
	浓度显示	4 位数字自动量程；档位：0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
	通信输出	单向 RS-232C、D-sub 9 针；速率 9600/19200/38400 bps；LAN 可选配
	可选配置	LAN 传输输出
转换器 MS-510	外形尺寸	100W×40H×88D (mm)（不含凸起部位）
	重量	约 0.5kg
	安装方式	M3 螺丝平面固定
传感器 SD 系列	外形尺寸	总长 100mm
	重量	约 0.3kg
	安装方式	ISO 真空法兰对接
检测单元共用	连接线缆	专用连接线，标准 2m，*长可延长至 10m
	预热时间	6 分钟以内
	工作电源	DC24V、2A
	功耗	60VA（稳态 15VA）
	重复性	0～1% 量程及以上：±0.5% FS 以下；0～1% 量程以下：取 ±1.0% FS 与 ±0.1ppm 较大值；0～1ppm 以下量程无性能保证
	空气点稳定性	±1.0% FS 以下 / 24h
	试样气体条件	禁止还原气氛使用；高浓度 He 等高比热气体可能无法使用；温度 0～100℃、压力 10⁻³Pa～200kPa（绝压）、露点低于环境温度；流量 0.5～5L/min 或 0L/min 自然扩散测量

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