氧化锆式 EtherCAT 氧气浓度计

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产品名称: 氧化锆式 EtherCAT 氧气浓度计

产品型号: LD-600/SD-C

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: TORAY东丽

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氧化锆式 EtherCAT 氧气浓度计 的详细介绍

TORAY东丽-氧化锆式 EtherCAT 氧气浓度计-LD-600/SD

一、总结

LD-600/SD 是东丽针对工业 4.0 自动化制程推出的高性能氧浓度监测方案，在保留传统产品高精度、高耐用性优势的基础上，新增 EtherCAT 高速通信能力，适配半导体等行业对数据实时性、设备互联性的严苛要求，是自动化产线氧含量监控的优选设备。

二、特点

高速工业通信：搭载 EtherCAT 接口，支持高速实时数据传输，可无缝对接自动化产线控制系统，满足半导体等行业的同步制程监控需求。

高精度长周期稳定测量：搭载东丽自研小型氧化锆传感器，可长期提供稳定、高精度的氧含量数据，保障制程良率。

高耐用性设计：配备传感器保护机构，抗污染、抗老化性能优于传统产品，大幅延长设备使用寿命。

分体式灵活安装：传感器与转换器分离设计，适配真空设备、狭窄安装空间等复杂工况，安装布局更灵活。

合规性与适配性：支持 DC 电源供电，通过 CE 认证，适配全球工业标准环境。

三、应用
半导体 / 电子行业：真空镀膜、刻蚀、退火炉等制程的氧含量在线监控

自动化产线：需高速数据交互的工业制程闭环控制系统

真空热处理：惰性气体保护炉、密封炉体的低氧环境监测

洁净 / 特殊工况：手套箱、新能源制程、实验室精密设备的氧含量监控

分类	项目	规格参数
基本结构	形状	分离型（转换器：固定 / 壁挂式、传感器：直插式）
	显示方式	无显示
	传感器连接	ISO 真空法兰 NW16/25/40，或 R3/8 螺纹
	转换器 - 传感器连接	专用线缆，标准长度 2m，*大 10m
	比较气体	大气
	质量	转换器（LD-600）：约 0.8kg 传感器（SD16NW/SD25NW）：约 0.2kg 传感器（SD40NW）：约 0.35kg
	外形尺寸	转换器：65 (W)×130 (H)×125 (D) mm（不含突起部） SD16NW/SD25NW/SD40NW 传感器：全长 100mm（不含突起部）
测量性能	测量范围	0.001ppm～100% O₂（10⁻²⁰～10⁰atm 为可选配置），ppm 单位浮点输出
	重复性	0～1% 量程以上：±0.5% FS 以下 0～1% 量程未满：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，取较大值以下（*0～1ppm 量程以下不保证精度）
	空气点稳定性	±1% FS 以下 / 24hr
	暖机时间	6 分钟以内
通信规格	通信方式	EtherCAT I/F（符合 ETG 5003.1、ETG5003.2 标准）
	配置文件 / 协议	Common device profile，支持 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE）
样品气体条件	适用限制	禁止在还原气氛中使用；高浓度 He 等比热过高的气体可能无法使用
	温度	0～100℃
	压力	10⁻³Pa～200kPa（**压力）
	湿度	露点低于环境温度
	流量	0.5～5L/min 或 0L/min（自然扩散状态测量）
电源与安装	电源	DC24V、3A
	功耗	80VA（稳态时：30VA）
	安装场所	室内、非防爆区域
	环境温度	转换器：0～40℃；传感器单元：0～50℃
	安装部温度	转换器：0～40℃；传感器单元：0～100℃
	环境湿度	35～80% RH（无结露）
	其他要求	不含可燃成分、卤素、硅及腐蚀性成分

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