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超声波涡街流量计

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产品名称: 超声波涡街流量计
产品型号: FUPB4B‑NW‑BD
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: TOKICO
产品文档: 无相关文档

超声波涡街流量计  的详细介绍

TOKICO-超声波涡街流量计-FUPB4B‑NW‑BD

一、总结

这款PEEK 树脂制系列容积式流量计，是专为半导体 / 化工等高洁净、腐蚀性流体场景设计的专用计量设备。
接液部采用 PEEK 树脂一体成型，具备优异的耐腐蚀性和完全无死角结构，可适配药液、超纯水、酸碱溶剂等介质，无流体残留污染风险。
它支持 0~140℃、0.39~0.98MPa 的宽工况，标准精度 ±3% RD（可选 ±1% RD），提供 1/2B、1B 两种口径，适配螺纹 /wafer 连接方式，广泛用于半导体清洗、化工药液配比、制药无菌流体等精密计量场景。

二、长处

  1. 超强耐腐蚀性：接液部为 PEEK 材质，耐强酸、强碱及有机溶剂，适配各类腐蚀性的药液与超纯水。
  2. 高洁净无死角：完全无口袋构造，无流体残留，避免药液污染，满足半导体 / 制药的高洁净要求。
  3. 宽工况适配：支持 0~140℃介质温度、0.39~0.98MPa 压力，可应对复杂工艺条件。
  4. 高精度可选：标准精度 ±3% RD，可升级至 ±1% RD，满足精密药液计量需求。
  5. 紧凑易安装：提供 1/2B（DN15）、1B（DN25）两种口径，支持螺纹 /wafer 连接，适配半导体清洗机、药液输送管路。

三、用途

  • 半导体行业：清洗药液、超纯水、光刻胶、蚀刻液等高纯流体计量。
  • 化工行业：腐蚀性的药液、酸碱溶液、有机溶剂的流量监控与配比控制。
  • 制药行业：注射用水、药液配料、无菌流体的洁净计量。
  • 精密工艺：需要无残留、耐腐蚀、高洁净的微量液体流量检测场景。
  • 项目 参数说明
    口径 1/2B、1B 两种规格（对应 DN15、DN25）
    适用流体 药液、腐蚀性流体、超纯水等
    精度 ±3% RD（可选 ±1% RD 高精度）
    测量范围 1.7～220L/min
    流体温度 0～140℃
    流体压力 0.39～0.98MPa
    连接方式 螺纹连接、Wafer（对夹）连接



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