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超声波涡街流量计

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产品名称: 超声波涡街流量计
产品型号: FUBB3A-KW-6CH-TX4G
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: TOKICO
产品文档: 无相关文档

超声波涡街流量计  的详细介绍

TOKICO-超声波涡街流量计-FUBB3A-KW-6CH-TX4G

一、总结

该设备是一款全 PFA 材质、无机械运动部件的超声波涡街流量计，通过超声波检测卡尔曼涡街实现流量计量，核心优势在于极强的耐腐蚀性、洁净性与免维护性，适配药液、腐蚀性流体、超纯水等特殊介质，广泛应用于半导体制造、化工工艺等对流体纯净度和耐腐蚀性有严格要求的场景。

二、长处

  1. 优异的耐腐蚀性与洁净性
    接液部采用 PFA 树脂一体成型，无密封件、无焊接点，对强酸、强碱、有机溶剂及超纯水均有极强耐受性，同时避免了介质污染风险，满足半导体、制药等行业的洁净流体测量需求。
  2. 无机械运动部件，免维护
    采用超声波检测涡街原理，流路内无叶轮、齿轮等运动部件，无磨损、无卡堵风险，长期运行无需维护，降低运维成本。
  3. 结构紧凑，安装便捷
    小型化设计，适配 3/8~1B 多种口径，采用卡套式连接，安装简单，适配狭小的工艺管路空间。
  4. 稳定可靠的测量性能
    不受介质电导率影响，可测量超纯水、低电导率药液；测量精度稳定，能满足工业过程控制的计量要求。

三、用途

  • 半导体 / 电子行业：超纯水、蚀刻液、清洗液、光刻胶等工艺药液的流量监控。
  • 化工行业：酸碱溶液、腐蚀性流体、有机溶剂的计量与过程控制。
  • 制药行业：药液、纯化水、无菌流体的洁净流量测量。
  • 水处理行业：超纯水、离子交换水、高纯水的流量计量。

  • 项目 参数
    口径 3/8B、1/2B、3/4B、1B（4 种规格）
    适用流体 药液、腐蚀性流体、超纯水等
    精度 ±3%FS、±3%RD
    计测范围 0.3~150L/min
    流体温度 0~100℃
    流体压力 0.5~1.0MPa
    材质 接液部：PFA 树脂一体成型



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