KURABO-半导体药液浓度计-Pro-2+(KIS)
本品是日本仓纺KURABO推出的在线式药液浓度计,专为半导体、精密电子制造打造,适配连续生产制程的药液浓度在线监测。具备自动校正、易对接旧系统、温度适配范围宽、机身紧凑易安装的特点,运行稳定、部署简单,可给工艺闭环控制提供可靠数据支撑,也可跨行业通用。
1. 自动校正,维护省心内置纯水校正自动管路切换阀,自动完成校正,减少人工操作,长期测量稳定性高。
2. 易对接易替换可兼容现有工艺系统,能直接替代同类型设备,大幅减少管路、配线改造,部署快、对生产影响小。
3. 性能稳定适配强仓纺自研数据处理算法,支持24 小时在线连续测量;适配药液温度 20~40℃,覆盖多数常温制程。
4. 体积小巧安装灵活紧凑型机身,尺寸 W270×D340×H257mm、约 16kg,可装机柜或产线侧边,接口规整,安装调试难度低。
1. 半导体 / 微电子:晶圆蚀刻液、剥离液、酸碱清洗液,后道再生药液、电子元件精密清洗液浓度控制。
2. 新能源光伏:锂电池电解液、电极浆料,硅片清洗液、制绒药液浓度监测。
3. 精细化工:反应釜物料、萃取精馏组分在线分析,优化反应工艺。
4. 食品及其他:酒类发酵糖度 / 酒精度监测;光学元件研磨清洗液、医疗器械高纯清洗液浓度管控。
产品规格:
型号
Pro-2+(KIS)
测量方法
红外
装置构成
一体型
装置重量
约16kg
适用场所
半导体制造工厂的洁净室或同等环境场所
周围温度
20~30℃(无结冰)
电源
AC100-220V 100W
尺寸
W270 x D340 x H257 [mm]
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