CHEMICAL HEATER
半导体制造工艺CS加热器AIH系列
以干净、**、小型、高效为理念的直排型药液加热装置
CS加热器（Clean&Safe Heater）是一种紧凑的直排加热器，可短时间内**控制温度，用于半导体制造过程中的清洗、剥落等各种药水的高温加热。接液部分采用高纯度石英玻璃，并采用来自大功率卤素灯的近红外光辐射加热，是一种无需担心杂质污染的高效加热设备。
特征：
1. 干净
由于卤素灯的放射加热方式，接液部温度低，将玻璃成分的溶出控制在*小限度，也不用担心因热西破损引起的药水污染
2. **
与专用控制器相结合，具有各种**功能
3. 小型
小型设计，容易嵌入湿站等装置内
4. 高加热效率
加热效率90%以上，能源损失少的节能运转
5. 加热器更换容易
加热器（卤素灯）的更换，在不拆系统的管路情况下容易从一个方向进行
6. 良好的控制和操作性
通过PID控制高精度的温度控制，各种操作和警报显示集中在控制器的前面板上，通过外部通信功能的标准配备，可以根据系统结构选择使用。
用途：
1. LSI制造工艺中高温处理液的加热控制
扩散前清洗液（氨水、盐酸）
氮化膜**液（磷酸）
抗蚀剂（硫酸）
2. 其他领域中各种药水的加热控制
镀金等镀液、预处理液、清洗液等
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