化学加热器

点击看大图

如果您对该产品感兴趣的话,可以

产品名称: 化学加热器

产品型号: CHE-36-3-S

产品厂商: 岩濑商事

产品品牌: KELK

产品文档: 无相关文档

化学加热器 的详细介绍

CHEMICAL HEATER

半导体制造工艺化学加热器CHE-36-3-S

无金属离子溶出污染的在线型电阻加热器方式药液加热装置

KELK化学加热器，作为RCS清洗和湿蚀刻使用的各种药水的高温加热用，短时间**地温度控制电阻加热器的直排加热装置。因为接液部分只使用氟树脂和高纯度玻璃状碳，所以没有杂质污染危险，可以应对酸性液体、碱性液体以及有机溶剂。

特征：

1. 加热部的传热接液部件使用高纯度玻璃状碳素，不用担心被溶出的金属离子污染，无需表面保护膜，不会因剥离而降低能力。另外，由于独有的结构，不使用橡胶O型圈等，因此适用药水、碱性液体及有机溶剂。

2. 装置内置有检测药液泄漏的漏液传感器和检测异常温度的温度开关，可以放心使用。

用途：

1. 半导体制造湿法工艺中使用的药水温度管理

聚合物清楚液

RCA清洗液

蚀刻液

光刻工程显影液

2. 镀层液和各种表面处理液

【适用液体】

酸性液体（氢氟酸、硝酸等）

碱性液体（NaOH 、KOH等）

有机药水

（注1）有机药水请在订购前咨询

（注2）含有臭氧的药水不能使用

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

KELK化学加热器CHE-36-3-S