DI-WATER HEATER PWH系列
半导体制造工艺超纯水加热装置
作为硅晶片·液晶用玻璃基板超纯水清洗用的*适合于使用点的温水供给装置
本装置是半导体制造线上硅晶片的清洗、液晶制造线中的玻璃基板的清洗等使用的加热超纯水的装置。加热部是用高品质石英玻璃双层覆盖的卤素灯因为是由纤维构成，所以没有杂质污染，高效率的超纯水加热装置。另外，改装置是紧凑设计所以使用点的设置场所可以做到*小。
特征
1.清洁
加热部的容器是石英玻璃，配管部是氟树脂。
2.紧凑
不占安装面积的薄型小巧。
3.高性能调温
高输出卤素灯的优良升温上升与特性和流量变化相对应的温度调节。
4.高效率
加热效率95%以上。
5.**
对过升温、空烧、漏水等的**功能及警报机根据能力对应**性。
用途
1.硅晶片的清洗
2.液晶用玻璃基板的清洗
3.温纯水清洗代替其他氟利昂类清洗
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