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研发用辊涂机

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产品名称: 研发用辊涂机
产品型号: SRC-100V
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: PHIL佐藤
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研发用辊涂机  的详细介绍

PHIL佐藤 研发用辊涂机 SRC-100V

适用于研发和小批量生产的紧凑型高性能辊涂机。 可提供等离子处理、溅射和沉积装置。

主仕様

到達圧力 ×10‒5 Pa
真空計  BA 真空计、电容式压力计
工作尺寸  W100mm×L200ｍ×t 50～100um
进料速度  0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 　Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜
滚动锥 φ250　水冷式
轴向密封  使用磁性密封
沉积前等离子处理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 (1) 70 x 200 直流磁控管型 x *多 2 套
(ii) 电阻蒸发源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
工艺气体 Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
水电 ・AC200V 3φ 100A 　　・冷却水


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