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小型CVD设备

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产品名称: 小型CVD设备
产品型号: SFCV-1501
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: PHIL佐藤
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小型CVD设备  的详细介绍

PHIL佐藤 小型CVD设备 SFCV-1501

管式炉型高温热化学气相沉积系统，适用于大学和研究机构开发石墨烯等各种碳氢化合物材料。 该系统实现了小型化，因此可以通过简单的操作生产小批量和小尺寸试件，同时还能显著降低成本。
此外，该系统还配备了 5-100 Pa 的压力控制功能，这在以往的小型系统中是很难实现的，从而使其能够用于更多的加工模式。 该系统还配备了针对易燃碳氢化合物气体的**装置，如用于关闭设备的报警检测系统和用于稀释释放到大气中的气体的气体稀释装置。

主仕様

炉芯管 透明石英管（加熱温度100～1000℃）
氧化铝管（加熱温度1000～1400℃）
反応ガス供給 2 - 60 sccm（氢气、甲烷、乙烷、乙烯、乙炔、苯等）
压力控制 5～100Pa
可燃性ガス大気放出対策 通过喷射器将空气稀释并排放到可燃混合范围以下。

機器構成

型式 SFCV-1001 SFCV-1003 SFCV-1501
管状炉 炉芯管 材質 透明石英管 アルミナ管
内径 φ24mm、φ50mm φ24mm
加熱温度 常用 100～1000℃ 500～1400℃
Max 1150℃ 1500℃
加熱域 1 区  3 区 1 区 
加热器功率  1.0kW 2.4kW 1.2kW
真空排気 油旋式真空泵 排気速度：100～150L/min
气体供应 质量流量控制器  流量：10～100sccm
气体管式流量计
气体稀释 空气喷射器  空气流量：15Nl/min
真空計 圧力制御 电容压力计：0.133 至 1330 帕，100 帕至 133 千帕
大気復圧  数字耦合计：-100kPa～+100kPa
制御 温度制御 程序控制
圧力制御  阀门开/关控制
操作パネル 每个设备的开关、程序温度控制器、真空计
指示器：温度、真空、操作设备开/关、警报、电源
電源 単相 100V・30A 100V・50A 200V・20A
外形寸法 Ｗ×Ｄ×Ｈ 1450×500×1200mm
質量 125kg 134kg 128kg
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