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真空沉积系统

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产品名称: 真空沉积系统
产品型号: HSV-12-80
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: PHIL佐藤
产品文档: 无相关文档

真空沉积系统  的详细介绍

PHIL佐藤 真空沉积系统 HSV-12-80

本系列电阻加热蒸发设备结构紧凑，专为研发和小批量生产而设计。 该系列中的某些型号还可配备电子束 (EB)。

主仕様

型　　式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80
到達圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa
基板加熱温度 - Max 300℃
蒸発源（電極） 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A
バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動
真空槽 φ300×H300mm
透明ガラス 		φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304 		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
回転機構 - 公転機構 自公転機構
内部機構 快门机构、电阻加热机构 百叶窗机构、加热加热器、电阻加热机构
主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches或低温
補助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min
主バルブ 3inches 8inches 12inches
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