PHIL佐藤 油扩散泵 SDP-2
在需要高真空且能以低成本获得 10-5 Pa 的情况下,可使用真空泵。 通过喷嘴喷射加热扩散油的超音速射流,将材料排到高真空范围。 它不能独立运行,必须与油旋片真空泵结合使用,作为后级泵。 请参阅真空设备部分的高真空抽气设备,了解作为组合抽气装置使用的产品。
仕様表 型 式 排気速度 到達圧力*2 油逆流量 油量 電源 電力 始動時間 所要水量 臨界背圧 質量 (1.3×10-3Pa時) L/sec Pa mg/cm2min mL V/φ W min L/min Pa kg 无/有挡板 无挡板/有水冷挡板 SDP-2 125/58 ×10-5 ×10-2/×10-4 50 100/1 0.33 15 0.5 20 4 SDP-2A*1 58 7.5×10-4 4.7 SDP-3 280/150 ×10-2/×10-4 100 100/1 0.5 20 1.0 6 SDP-3A*1 150 7.5×10-4 7.5 SDP-4 380/215 ×10-2/×10-4 150 100/1 0.7 20 1.5 8 SDP-4A*1 215 7.5×10-4 10 SDP-6 810/465 ×10-2/×10-4 340 200/1 1.0 20 3.0 15 20 SDP-8 1450/790 ×10-2/×10-4 500 200/1 1.4 25 4.0 30 SDP-10 2070/1200 ×10-2/×10-4 820 200/1 1.9 25 5.0 41 SDP-14 3600/2350 ×10-2/×10-4 1600 200/3 4.5 30 7.0 120 *1 SDP-2A、SDP-3A 和 SDP-4A 为风冷式。 *2 使用的液压油:Lion S
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