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升温脱离气体分析装置

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产品名称: 升温脱离气体分析装置
产品型号: TDS-M202R
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

升温脱离气体分析装置  的详细介绍

ULVAC 升温脱离气体分析装置 TDS-M202R

特点
质谱分析可以在10 -5 Pa的高真空下进行测量。
红外灯加热，石英反应管是冷壁，几乎没有排出的气体。
具有从高速加热到低速加热的广泛设置范围，可实现多步加热和循环加热。
用途
真空油脂、O-ring等各种真空材料的评估
半导体晶圆，芯片评估
合金，陶瓷，固体材料等的微量气体分析
规格

温度范围 RT ～ 1000℃
样品尺寸 □20 × t2 (mm)
大气 真空
加热方式 抛物面反射红外线管式加热法
温度传感器 热电偶  (JIS “K”)
极限真空 10-5 Pa 范围（8 小时烘烤后）
质量测量范围 1 ～ 200amu
**保护 冷却水 - 漏电（ELB）
灵敏度  4A/Pa
分辨率  M/△M＝1M（10％ P.H.）


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