ULVAC 纳米粒子形成装置 APD-P
特点 APD-P 可对用纳米粒子 APD-S 可控制从nm级的膜厚到μm级的膜厚的脉冲数,可以容易地控制膜厚。 用途 APD-P(用于在粉末上加载纳米颗粒) 使用纳米粒的燃料电池催化剂 排气催化剂 光触媒 VOC分散催化剂 碳纳米管催化剂 等离子 APD-S(基板成膜用) 金属薄膜(磁性 等离子 保护膜) 规格
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