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电弧等离子体蒸发源

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 电弧等离子体蒸发源
产品型号: APS-1
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

电弧等离子体蒸发源  的详细介绍

ULVAC 电弧等离子体蒸发源 APS-1

特点
纳米颗粒的尺寸比传统的湿法更均匀，因此能够生产高活性催化剂
纳米颗粒尺寸约1.5nm至6nm可选
通过改变环境可以容易地产生氧化物和氮化物
如果有与ICF 070（VG 50）相当的法兰，无论那个方向都可以安装
无需水冷设备，方便维护
用途
多个蒸发源化合物的生成
添加到现有的真空室
规格

目标尺寸 Φ 10mm × L 17 mm
基底尺寸 Φ 2 inch (Φ 50 mm)
沉积速率 0.01 nm/s ～ 0.3 nm/s *1
薄膜厚度均匀性 Fe:　< ± 10 %　(Φ 20 mm area) *1
可用于沉积的材料  导电材料 *2

＊1 目标到基底的距离： 80 毫米
＊2 靶材的比电阻：0.01Ω 厘米或以下



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