ULVAC 超高温灯退火设备 HT-RTA59HD
特点 可在10秒内升至1800℃的超高温范围 椭圆形反射面上安装大功率灯的聚光灯 Cold Wall结构可以快速加热/冷却和清洁加热 桌面型，加热炉，腔室，温度控制器一体化 通过连接了USB的PC可轻松输入温度程序 加热时的温度数据可以显示在计算机屏幕上（可以保存为文本文件） 用途 SiC(GaN)功率器件工艺氧化膜形成和活化退火的研究开发 其他半导体的研究开发 玻璃基板、陶瓷、复合材料等的热处理 陶瓷材料的热冲击试验 各种热处理试验，如高熔点金属材料的烧结等 作为温度梯度炉 作为气体分析的加热炉 规格 温度范围 RT ～ 1800℃ 样品尺寸 square 15 × t1 (mm) 加热气体 各种气体流量 热点偶 JIS B Φ0.3 (W-Re is available)
上海岩濑国际贸易有限公司 Tel：021-63333-365 Fax：021-63333-367 Add：上海市松江区沪亭北路199弄九亭中心5号楼811室 Email：sh@iwase365.com