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简易型红外线灯加热设备

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产品名称: 简易型红外线灯加热设备
产品型号: SSA-E45
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

简易型红外线灯加热设备  的详细介绍

ULVAC 简易型红外线灯加热设备 SSA-E45

特点
石英腔室可以选择气流型或真空型（标准是气流型）
可选，可以使用气流型和真空型
用途
化合物半导体的合金化
Si、化合物半导体のRTA
陶瓷基板上的层压材料的烧制炉
用于玻璃和陶瓷基板的退火炉
规格

型号 SSA-E45 SSA-E410 SSA-P610C
加热方式  聚光圆柱加热  平行光圆柱加热
温度范围 RT ～ 1400℃ RT ～ 1200℃
加热区  Φ15mm×L 50mm Φ15mm×L 100mm Φ50mm×L 100mm
浸泡区 Φ10mm×L 40mm Φ10mm×L 80mm Φ40mm×L 80mm
加热腔  石英腔 Φ30（用于气体流动） 石英室 Φ98（用于气体流动）
样品支架  船形石英支架 用于 2 英寸晶片的石英支架
热电偶 JIS R-type
温度控制器 TPC5000-32-1 TPC5000-62-1

※　加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容量和材料而变化。


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