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红外线灯加热设备

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产品名称: 红外线灯加热设备
产品型号: RTP-6
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

红外线灯加热设备  的详细介绍

ULVAC 红外线灯加热设备 RTP-6

特点
Cold Wall结构不会造成重金属污染
用途
可以实现Si晶圆的急速热处理
规格

型号 RTP-6
温度范围 室温～1000℃
样品尺寸 4inch～6inch晶圆尺寸
测量环境 气体中、气流中、大气中
应用 涡轮分子泵／回转泵排气组
冷却水循环设备
高温计控制
SiC碳板
img_mila-5000.jpg

加热室

组成

  • 红外线金像炉
  • 热处理室
  • 可编程温度控制器
  • 9 区输出装置
  • 跨度变化装置
  • 气体管道系统
  • 热风排气系统
  • 框架・开关板
  • 高温计（选件）
  • 冷却水循环系统（选配）
  • 真空排气系统（选配）


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