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小型蒸发设备

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产品名称: 小型蒸发设备
产品型号: VPC-061A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

小型蒸发设备  的详细介绍

ULVAC 小型蒸发设备 VPC-061A

特点
桌面紧凑型，可节省安装空间。
玻璃钟罩更容易看到内部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
停电时会自动开启泄露阀，以保护主泵。
规格

型式 VPC-061A
真空性能 极限压力 1.3×10-３Pa
6.6×10-４Pa（液体氮气使用时）
排气时间 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液体氮气使用时）
真空槽 真空槽 玻璃钟罩（内径Φ150mm×高200mm)
馈通圈 3端口(底面3)
基板推荐尺寸・*大尺寸※1 □25mm ・ □50mm（Max）
电源系统 蒸发电极构成 1点式
蒸发电源・数量 SEREM PSE-150C・1 式
0～10V 150A（Max)
排气系统 主泵 油扩散泵（空冷）　50L/sec
液体氮气捕集器 有
補助泵 油回转泵 20L/min
油雾捕集器 选项
操作系统 主阀 蝶阀
補助阀 三通阀e
自动泄露阀 有
操作 手动
控制系统 皮拉尼真空计 选项
电离真空计 选项
设置 *大尺寸　本体 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
电源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
质量　　　　本体 32kg
电源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考虑膜厚度分布时的值。

效用

型式 VPC-061
所要时间 本体 100V 单相 50/60Hz 0.63kVA
电源 200V 单相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D种 （接地抵抗値 100Ω以下）
组合连接 本体　1Φ　100V 橡胶绝缘软性电缆（带插头） 2m
电源　1Φ　200V 橡胶绝缘软性电缆（带R2.0-5接压端子） 2m

尺寸图

zu_vpc061a.gif

蒸发电源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部构成

基本构成

zu_vpc060_060a_fc.gif

可选配件

zu_vpc061a_op.gif
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