ULVAC 分光椭偏仪 UNECS-3000A
特点 高速測定: 独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。 适用于可见光谱: 波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。 紧凑型传感器单元: 光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。 丰富的产品阵容: 产品阵容应用广泛,包括如独特的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。 用途 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量 规格
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