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校正漏孔（薄膜型）

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产品名称: 校正漏孔（薄膜型）
产品型号: CLM-10A
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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校正漏孔（薄膜型）  的详细介绍

ULVAC 校正漏孔（薄膜型）CLM-10A

规格

型号 泄露量 充气压力 接头
CLM-07AY 10-7Pa･m3/s台 261kPa(abs) Φ18mm pipe(with ｍanual valve)
CLM-08A 10-8Pa･m3/s台 251kPa(abs)
CLM-09AZ 10-9Pa･m3/s台 261kPa(abs)
CLM-10A 10-10Pa･m3/s台 101kPa(abs)

HELIOT中内置的校正漏孔

型号 泄露量 封入圧力 适用机型
CLM-08E 10ｰ8Pa･m3/s台 251kPa(abs) HELIOT900series
CLM-08F 10-8Pa･m3/s台 251kPa(abs) HELIOT710,700,300series

尺寸图

CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-08ACLM-09AZCLM-10A.png

CLM-07AY

CLM-07AY.png

CLM-08F

CLM-08F.png

CLM-08E

CLM-08E.png

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