ULVAC 校正漏孔(薄膜型)CLM-07AY
规格
型号 泄露量 充气压力 接头 CLM-07AY 10-7Pa・m3/s台 261kPa(abs) Φ18mm pipe(with manual valve) CLM-08A 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs) CLM-09AZ 10-9Pa・m3/s台 261kPa(abs) CLM-10A 10-10Pa・m3/s台 101kPa(abs) HELIOT中内置的校正漏孔 型号 泄露量 封入圧力 适用机型 CLM-08E 10ー8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT900series CLM-08F 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT710,700,300series 尺寸图 CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A CLM-07AY CLM-08F CLM-08E
HELIOT中内置的校正漏孔
CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-07AY
CLM-08F
CLM-08E
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