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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U30H
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U30H

特点
特别适用于大型成膜设备，真空腔室等。
水的排气速度*高。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 28,000
氢 43,000
氩 23,000
水 70,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(20)
氢 7.4×102(5.6)
排气容量 氩 Pa・L(Torr・L) 7.8×108(5.9×106)
氢 1.5×107(1.1×105)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 240/200(50/60)
吸气口法兰 VG-750
压缩机组 C30VRT×2
重量 Kg 175.0

*维护周期：16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

u30h1.gif


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