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低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U16
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
产品文档: 无相关文档

低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U16

特点
*适用于中，大型设备。
*适用于批量型大型成膜设备。
热负荷能力强。
标准规格

排气速度(20℃) 氮 L/s 5,000
氢 10,000
氩 4,200
水 16,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氩 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.4×103(11.0)
氢 4.1×102(3.1)
排气容量 氩 Pa・L(Torr・L) 4.3×108(3.3×106)
氢 2.4×106(1.8×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 110/100(50/60)
吸气口法兰 UVG-400
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 61.0

*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选

外形尺寸 (单位:mm)

u16-u16p.gif


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