低温泵

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产品名称: 低温泵
产品型号: CRYO-U12HSP
产品厂商: 岩濑商事
产品品牌: ULVAC
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低温泵  的详细介绍

ULVAC 低温泵 CRYO-U12HSP

特点
氩气的排气速度约为标准型号(U12H)的2倍。
氢气的排气速度约为标准型号(U12H)的1.5倍。
再生的间隔时间更长,有助于增加设备的工作时间。
标准规格

排气速度(20℃) L/s 4,100
6,000
3,400
9,500
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0)
4.1×102(3.1)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 4.4×108(3.3×106)
1.6×106(1.2×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 90/80(50/60)
吸气口法兰 UVG-300,10BANSI
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 42

*维护周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

u12hsp.gif


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