ULVAC 低温泵 CRYO-U12HSP
特点 氩气的排气速度约为标准型号(U12H)的2倍。 氢气的排气速度约为标准型号(U12H)的1.5倍。 再生的间隔时间更长,有助于增加设备的工作时间。 标准规格
*维护周期:16,000小时
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